擴(kuò)散泵機(jī)組是一種高真空獲得設(shè)備，以油擴(kuò)散泵為主泵，通常與閥門、水冷擋板、管道、機(jī)械真空泵（前級(jí)泵）等組成高真空抽氣系統(tǒng)。它利用從傘形噴嘴噴出的高速工作介質(zhì)蒸汽射流，攜帶擴(kuò)散到蒸汽射流里的被抽氣體，從而實(shí)現(xiàn)抽真空的功能。

　　擴(kuò)散泵機(jī)組的工作原理基于分子撞擊擴(kuò)散的過(guò)程。具體來(lái)說(shuō)，由電加熱器（電爐）將裝在泵腔（油鍋）內(nèi)的液態(tài)工作介質(zhì)加熱，使其變成蒸汽。蒸汽通過(guò)安裝在泵腔里的泵芯噴嘴高速噴出，形成低密度、高速度的蒸汽射流。被抽氣體通過(guò)擴(kuò)散進(jìn)入蒸汽射流中，被下一級(jí)蒸汽射流帶走，最后由前級(jí)泵排出。而工作蒸汽到達(dá)水冷的泵壁后，冷凝成為液態(tài)沿著泵壁流回油鍋，這樣周而復(fù)始地工作，形成了擴(kuò)散泵的正常抽氣過(guò)程。

　　擴(kuò)散泵機(jī)組的保養(yǎng)方法：

　　一、定期清潔

　　目的：去除積累的灰塵、油污等雜質(zhì)，防止影響泵的性能或?qū)е卤脫p壞。

　　步驟：

　　使用專用的清潔劑和工具進(jìn)行清潔。

　　避免使用腐蝕性強(qiáng)的化學(xué)試劑，以免損壞泵體。

　　二、檢查密封性

　　目的：確保擴(kuò)散泵的密封性，防止泄漏。

　　步驟：

　　仔細(xì)檢查泵的各個(gè)密封部位，如密封圈、密封墊等。

　　如發(fā)現(xiàn)密封部件損壞或老化，應(yīng)及時(shí)更換。

　　三、更換損壞部件

　　目的：防止因部件磨損、老化而影響泵的性能和使用壽命。

　　步驟：

　　對(duì)泵的各個(gè)部件進(jìn)行全面檢查。

　　一旦發(fā)現(xiàn)損壞部件，應(yīng)立即予以更換。

　　四、保持運(yùn)行環(huán)境良好

　　目的：防止潮濕、高溫、粉塵等惡劣環(huán)境對(duì)泵造成損害。

　　步驟：

　　保持泵的運(yùn)行環(huán)境干燥、清潔、通風(fēng)良好。

　　定期對(duì)運(yùn)行環(huán)境進(jìn)行清理和檢查，確保其符合泵的運(yùn)行要求。

　　五、冷卻水管理

　　目的：確保擴(kuò)散泵在工作過(guò)程中冷卻水通暢，防止泵過(guò)熱。

　　步驟：

　　在擴(kuò)散泵工作過(guò)程中，確保冷卻水平穩(wěn)供應(yīng)。

　　停止加熱后，待泵工作液完q冷卻后再關(guān)閉冷卻水。

　　六、氣體管理

　　目的：防止被抽送的氣體對(duì)泵造成損害。

　　步驟：

　　確保被泵送的氣體是干燥、無(wú)腐蝕性、無(wú)粉塵的。

　　在泵停止工作時(shí)，保持泵內(nèi)真空狀態(tài)，防止泵油劣化。

　　七、長(zhǎng)期存放管理

　　目的：防止擴(kuò)散泵在長(zhǎng)期存放過(guò)程中受到損害。

　　步驟：

　　如擴(kuò)散泵暫時(shí)不使用，儲(chǔ)存時(shí)應(yīng)保持真空狀態(tài)，防止泵油污染和腐蝕各部件。

　　將冷卻水套的剩余水吹干凈，并將室溫保持在10至40攝氏度之間。

　　八、定期檢查與維護(hù)

　　目的：確保擴(kuò)散泵長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。

　　步驟：

　　定期檢查泵油是否被還原或氧化，按相應(yīng)要求進(jìn)行加油或更換處理。

　　對(duì)零件及泵腔進(jìn)行清洗和烘干處理，然后依次組裝，保持泵芯與泵底垂直，泵腔同心，各級(jí)噴嘴間隙按原要求調(diào)整。

　　在重新開啟真空設(shè)備之前，注意進(jìn)行檢漏工作，確保連接處密封良好。