真空提拉閥是一種專門用于真空系統中控制氣體流動的裝置,通過機械結構實現閥門的開啟與關閉,確保真空環境下的密封性和操作可靠性。其核心功能在于維持真空系統的穩定性,防止氣體泄漏,廣泛應用于需要高真空環境的工業領域。
真空提拉閥通常由閥體、閥桿、密封組件及驅動機構組成。以LNG氣瓶抽真空推拉閥為例,其結構包括手輪、止螺栓、活接、閥體及密封圈等部件。手輪通過閥桿控制活接的移動,活接與閥體連接處設置多層密封圈(如密封圈Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ),確保推拉過程中無泄漏。工作時,旋轉手輪帶動閥桿移動,活接隨之調整位置,實現閥門的開啟或關閉。這種設計使閥門在抽真空過程中既能高效抽氣,又能在結束后輕松與真空堵頭分離。
一、優異的真空密封性能
高真空/超高真空適用:采用金屬密封(如不銹鋼對不銹鋼、銅墊、銀墊)或高彈性氟橡膠(FKM)密封,可實現10??Pa至10?¹?Pa甚至更高的真空度。
泄漏率極低:氦質譜檢漏泄漏率可達到≤1x10??Pa·m³/s,滿足超高真空系統要求。
密封面保護:閥板升降過程中不與閥座摩擦,避免劃傷密封面,延長密封壽命。
二、潔凈度高,顆粒釋放少
無摩擦啟閉:閥板在開啟和關閉過程中是垂直升降,不與閥體或密封面產生滑動摩擦,極大減少了金屬顆粒或密封材料碎屑的產生。
適用于高潔凈環境:特別適合半導體、光電子等對顆粒污染極其敏感的工藝,防止污染晶圓或薄膜。
三、流阻小,通徑大
全通徑設計:當閥門完q開啟時,閥板完q提升至閥體上方,流道與管道內徑基本一致,形成直通式通道。
流阻極低:幾乎不產生壓降,有利于維持系統真空度和提高抽氣效率。
便于清潔:直通結構易于清洗和烘烤。
四、結構簡單,可靠性高
運動部件少:主要運動部件為閥桿和閥板,結構簡單,故障率低。
動作可靠:開啟和關閉位置明確,可通過限位開關或傳感器精確檢測。
耐久性強:在正確操作下,可承受數萬次以上的開關循環。
五、可高溫烘烤
金屬密封閥:采用金屬-金屬密封的真空提拉閥可承受200°C至450°C的高溫烘烤,有效去除閥體內部的吸附氣體和水分,快速獲得高真空。
材料耐熱:閥體、閥桿、閥板通常采用304、316L不銹鋼,耐高溫和腐蝕。
六、安裝方向靈活
通常可水平或垂直安裝(閥桿向上),適應不同的管路布局需求。
垂直安裝時,重力有助于閥板關閉,但需確保驅動機構能克服重力開啟。
七、標準接口,易于集成
采用標準真空法蘭連接,如:
KF(Quick Flange):DN10~DN50,快卸卡箍連接,常用。
ISO:大口徑,如ISO63、ISO100等。
CF(ConFlat):金屬密封,用于超高真空。
便于與真空泵、真空計、腔體等設備快速連接。
八、維護相對簡便
閥門結構開放,易于拆卸和清潔。
密封件(如O型圈)更換方便。
可進行原位或離線維護。