擴散泵機組是一種高真空獲得設備，以油擴散泵為主泵，通常與閥門、水冷擋板、管道、機械真空泵（前級泵）等組成高真空抽氣系統(tǒng)。它利用從傘形噴嘴噴出的高速工作介質(zhì)蒸汽射流，攜帶擴散到蒸汽射流里的被抽氣體，從而實現(xiàn)抽真空的功能。

　　擴散泵機組的工作原理基于分子撞擊擴散的過程。具體來說，由電加熱器（電爐）將裝在泵腔（油鍋）內(nèi)的液態(tài)工作介質(zhì)加熱，使其變成蒸汽。蒸汽通過安裝在泵腔里的泵芯噴嘴高速噴出，形成低密度、高速度的蒸汽射流。被抽氣體通過擴散進入蒸汽射流中，被下一級蒸汽射流帶走，最后由前級泵排出。而工作蒸汽到達水冷的泵壁后，冷凝成為液態(tài)沿著泵壁流回油鍋，這樣周而復始地工作，形成了擴散泵的正常抽氣過程。

　　擴散泵機組的安裝步驟：

　　1、就位安裝：

　　將擴散泵機組放置在基礎上，用墊鐵將機組找正找平。對于大型機組，可能需要使用型鋼支架進行粗水平調(diào)整。

　　安裝后同一組墊鐵應點焊在一起，以免受力時松動。

　　2、地腳螺栓安裝：

　　對于無隔振安裝，裝上地腳螺栓，螺桿應垂直，螺桿外露長度宜為螺桿直徑的1/2。

　　進行二次灌漿時，混凝土的強度應比基礎高1~2級，且不低于C25。灌漿時應搗實，避免使地腳螺栓傾斜和影響機組安裝精度。

　　3、隔振安裝（如需要）：

　　臥式機組：在鋼筋混凝土基座或型鋼基座下安裝橡膠減振器（墊）或彈簧減震器。

　　立式機組：在水泵機組底座或鋼墊板下安裝橡膠減振器（墊）。

　　確保減振墊或減振器的型號規(guī)格、安裝位置符合設計要求，且同一基座下的減振器（墊）應采用同一生產(chǎn)廠的同一型號產(chǎn)品。

　　4、檢測與調(diào)整：

　　使用水平儀和線墜對機組進出口法蘭和底座加工面進行測量與調(diào)整，確保機組水平度或垂直度符合要求。

　　對于采用聯(lián)軸器連接的機組，用百分表、塞尺等在聯(lián)軸器的軸向和徑向進行測量和調(diào)整，確保聯(lián)軸器軸向傾斜和徑向位移在允許范圍內(nèi)。

　　5、潤滑與加油：

　　檢查機組的油杯并加油，確保潤滑油充足且質(zhì)量符合要求。

　　盤動聯(lián)軸器，檢查機組盤車是否靈活，無異?，F(xiàn)象。