?羅茨旋片真空機組：原理、特點與應用

　　一、概述‌
 

　　羅茨旋片真空機組是一種高效、多級組合的真空抽氣系統，由‌羅茨泵(Roots Pump)‌和‌旋片式真空泵‌串聯組成。該機組結合了羅茨泵的大抽速能力和旋片泵的高壓縮比優勢，廣泛應用于需要中高真空(10?²~10?? Pa)的工業領域，如半導體制造、真空鍍膜、醫藥化工等。
 

　　‌二、工作原理‌
 

　　‌1、羅茨泵(主泵)‌
 

　　•采用一對同步反向旋轉的葉輪(轉子)，通過非接觸式嚙合將氣體從進氣口推向排氣口。
 

　　•無內部壓縮，依賴高速旋轉實現大抽速(可達1000~20000 m³/h)。

 

　　•需搭配前級泵(旋片泵)使用，因羅茨泵自身無法直接排放大氣壓氣體。

 

　　‌2、旋片泵(前級泵)‌
 

　　•通過偏心轉子及旋片將氣體壓縮并排出，提供初級真空(極限真空約10?² Pa)。

 

　　•為羅茨泵創造低背壓環境，確保機組高效運行。

 

　　‌3、協同工作流程‌
 

　　•氣體先由旋片泵抽至中真空范圍(1~10 Pa)，隨后羅茨泵啟動，進一步將真空度提升至更高水平。

 

　　‌三、技術特點‌
 

　　‌1、高效節能‌
 

　　•羅茨泵在低壓力區間抽速顯著高于單級旋片泵，能耗比傳統機組降低30%~50%。

 

　　‌2、寬泛的工作范圍‌
 

　　•覆蓋中真空至高真空(10?~10?? Pa)，適應多變工藝需求。

 

　　‌3、低振動與低污染‌
 

　　•羅茨泵無油設計減少污染，旋片泵可選油潤滑或干式(無油旋片泵)，滿足潔凈要求。

 

　　‌4、智能控制‌
 

　　•現代機組配備PLC控制系統，自動調節泵速、過載保護及啟停順序。

 

　　‌四、典型應用場景‌
 

　　‌1、光伏與半導體‌
 

　　•用于晶圓鍍膜、刻蝕設備的真空環境維持。

 

　　‌2、化工與制藥‌
 

　　•溶劑回收、真空干燥、分子蒸餾等工藝。

 

　　‌3、科研與實驗室‌
 

　　•同步輻射裝置、真空冷凍干燥機等。

 

　　‌4、食品包裝‌
 

　　•快速抽除包裝內空氣，延長保質期。